L'ingegneria di depurazione ottica microelettronica è definita come l'eliminazione di particelle di polvere, aria nociva, batteri e altri inquinanti nell'aria in un determinato spazio, e la temperatura interna, umidità, pulizia, pressione interna, velocità di flusso d'aria e distribuzione del flusso d'aria, vibrazioni rumorose e illuminazione, controllo dell'elettricità statica in una certa gamma di esigenze, e lo spazio chiuso appositamente progettato.
L'ingegneria di depurazione della microelettronica ottica, chiamata anche camera senza polvere o camera pulita, è attualmente un'importante struttura indispensabile per le industrie dei semiconduttori, della produzione di precisione, della produzione di cristalli liquidi, della produzione ottica, della produzione di circuiti e della biochimica, della medicina e della produzione alimentare. Negli ultimi anni, a causa dello sviluppo innovativo della tecnologia, la richiesta di alta precisione e miniaturizzazione dei prodotti è più urgente, come la ricerca e la fabbricazione di circuiti integrati di grandi dimensioni, è diventato un progetto di grande importanza per lo sviluppo scientifico e tecnologico in tutti i paesi del mondo, mentre la nostra filosofia di progettazione e la tecnologia di costruzione sono in posizione di leadership nel settore.
L'ingegneria di depurazione ottica microelettronica generalmente comprende:
1 Zona di produzione pulita
2, pulizia delle stanze di assistenza (comprese le stanze di pulizia del personale, le stanze di pulizia dei materiali e alcune stanze di soggiorno, ecc.)
Area di gestione (compresi ufficio, servizio, gestione e riposo, ecc.)
4, aree attrezzature (comprese applicazioni di sistemi di purificazione dell'aria condizionata, camere elettriche, camere con acqua e gas ad alta purezza, camere con attrezzature a freddo e calore)
Principio di pulizia dell'ingegneria di pulizia ottica microelettronica
Flusso d'aria → depurazione iniziale → aria condizionata → depurazione intermedia → ventilatore → tubo → efficiente depurazione dell'aria → soffiare nella stanza → rimuovere i batteri della polvere
Le particelle → le persiane di recupero → la purificazione iniziale Ripetere il processo di cui sopra per raggiungere lo scopo di purificazione.
Parametri di pulizia del progetto di pulizia ottica microelettronica
Scambio di aria: 100.000 gradi ≥ 15 volte; 10.000 gradi ≥20 volte; 1000 ≥ 30 volte. Differenza di pressione: officina principale contro la stanza adiacente ≥5Pa
Velocità media del vento: 10 gradi, 100 gradi 0,3-0,5 m / s; temperatura invernale > 16 ℃; in estate: 26°C; Fluttuazione ±2°C.
temperatura del 45-65%; L'umidità del laboratorio di polvere GMP è di circa il 50%; L'umidità dell'officina elettronica è leggermente elevata per evitare la generazione di elettricità statica.
Rumore ≤65dB (A); Il supplemento di vento fresco è del 10% -30% del volume totale di aria; Illuminazione 300LX.