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Controllatore dello spessore della membrana
Breve introduzione: Il regolatore di spessore di membrana CY-FDC-S è adatto per il rivestimento a fascio di elettroni, lo sputteraggio di magnetroni,
Dettagli del prodotto
Dettagli:

Controllatore dello spessore della membrana

Caratteristiche tecniche:

1. Funzionamento a schermo tattile completo, facile da usare;

2.32Una membrana, ogni membrana50/100rivestimento automatico strato;

3. 12Input segnale stradale/12uscita della quantità di interruttore;

4. Modalità di controllo completamente automatica, semiautomatica e manuale;

5.Controllabile2una fonte, un set di lavoro un altro set di pre-soluzione;


Parametri tecnici

Controllatore CY-FDC-S

Frequenza di oscillazione

6MHz (cristallo opzionale 2M 3M 5M 9M)

Modalità di visualizzazione

5 "touchscreen a colori + tubo digitale velocità di visualizzazione e spessore reale

Modalità di funzionamento

schermo touch

Spessore finale

00μ0000Å-99μ9999Å

Risoluzione dello spessore

1Å/s

Risoluzione di visualizzazione della velocità

0.1Å/s

Numero di strati di rivestimento

32 strati di membrana, 50/100 strati per membrana;

Numero di sonde

A B

Fattori strumentali

0.01-99.99

Mostra ora

00:00:00-23:59:59 H:M:S

Display di potenza

0~99.9%

Potenza prefondata

0~99%

Potenza pre-rivestita

0~99.9%

Tempo di pre-fusione / tempo di pre-rivestimento

0~99:99 m:s

Tempo di riscaldamento prefondato

Tempo di isolamento pre-rivestito

0~99:99 m:s

Velocità di rivestimento (impostazione della velocità)

0~999.9Å/s

Stoccaggio dei materiali

257+ 10 tipi personalizzati

Comunicazione

RS232/RS485

Fonte di evaporazione controllabile

2, può essere un set di lavoro un altro set di pre-soluzione

Controllo di output

±10V/5V/2.5V

I/interfaccia

12 ingressi segnale / 12 uscite commutatori

Numero di crogioli controllabili

1-16 persone

rivestimento display

Curva di velocità/valore

Numero di giri di rivestimento

50/100 strati automatici per membrana

Dimensioni della cassetta

480 × 280 × 89mm (cassa da 19" 2U)


Caratteristiche speciali:

1Manuale, semiautomatico, automatico3Tipo di modalità di rivestimento per soddisfare diverse configurazioni di macchine di rivestimento;

2Finisce il rivestimento artificialmente: termina il rivestimento artificialmente durante il processo di rivestimento;

3Controllo manuale: determinare i requisiti del processo di rivestimento iniziale;

4Sistema di membrana interrotta: rilevare problemi o guasti nel rivestimento automatico e semiautomatico, può interrompere il rivestimento e salvare automaticamente lo stato attuale, dopo il guasto **, può continuare il rivestimento dal sistema di membrana interrotta;

5Quando il rivestimento automatico o semiautomatico, se l'oscillazione del cristallo non funziona, è possibile scegliere di terminare il rivestimento, rivestimento in base al tempo di potenza corrente, continua il chip di commutazione (sonda multi-chip);

6Due fonti di pre-fusione contemporaneamente: durante l'inizio del processo di rivestimento dello strato corrente, è possibile scegliere2Lo strato viene prefondato per soddisfare le esigenze temporali di occasioni stressanti;

7Protezione con password: funzione di protezione con password dei parametri del sistema di membrana e dello strato di membrana, per proteggere i parametri di processo da modifiche da parte del personale non tecnico;

8Registrazione dei dati di rivestimento: quando il rivestimento automatico o semiautomatico, il sistema può registrare il tempo di formazione della pellicola di ogni strato e i parametri della velocità dello spessore finale.



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