Dispositivo di ispezione ottica mista ad alta velocità e precisione YSi-12

Caratteristiche:
Con alta risoluzione XY fino a 10 µm e Z fino a 5 µm

～È possibile evitare l'ambiguità della determinazione, per realizzare la stessa rilevazione di alta precisione del misuratore～

Verifica la velocità del substrato L330 x W250mm fino a 15 secondi in media per foglio (in condizioni ottimali di illuminazione a 3 strati)

Scegli tra 5 metodi diversi per un controllo ottimale

3 colori superiore e medio inferiore, più 10 riconoscimenti di immagine IR

Fotocamera di controllo con 5 megapixel