Principali caratteristiche tecniche e indicatori del prodotto:

L'interfaccia software è facile da usare, scientifica e intuitiva. Può essere applicato all'area di esposizione corrente, all'area da esporre e ai parametri di esposizione
Fornire rappresentazione grafica in tempo reale delle informazioni numeriche.
Selezionando il modulo di allineamento posteriore, è possibile ottenere l'esposizione di allineamento su due lati, aggiornando il modello per avere doppio
Di fronte alla macchina litografica di proiezione di passo con funzione di esposizione quasi.
Configurare un sistema di controllo automatico per il rilevamento del piano focale, che completa automaticamente il processo di esposizione in tempo reale dopo aver impostato la posizione del piano focale
Regolazione del piano focale.
Utilizzando un film a luce fredda e un sistema di illuminazione i-line, con una lunghezza d'onda di esposizione di 365nm, la superficie di esposizione è luce fredda e l'esposizione è
La forma è quadrata, ripida e diritta.
● Supporta quattro tipi di esposizione: esposizione a contatto sotto vuoto, esposizione a contatto duro, esposizione a contatto sotto pressione e esposizione di prossimità
Funzione.
Utilizzando la tecnologia brevettata - blocco di costruzione disallineamento fly eye lente per ottenere un'illuminazione ad alta uniformità con illuminazione irregolare migliore del 2%.
Adottando il sistema avanzato di allineamento fuori asse, il processo di allineamento viene completato automaticamente, che è molto adatto per allineare substrati di varie dimensioni (compresi i frammenti).
Precisione di allineamento: ± 0,5 μ m.
● Uniformità dell'illuminazione: 2%.
Area di esposizione: 3mm × 3mm ~ 50mm × 50mm.
● Sensibilità al movimento della fase di messa a fuoco: 1 μ m.
Dimensione della maschera: 3 pollici, 4 pollici, 5 pollici.
● Corsa del movimento del tavolo di messa a fuoco: 5mm.
Risoluzione litografica: 0,3 μ m~5 μ m.
● Rilevamento della messa a fuoco: rilevamento CCD, precisione di rilevamento di 0,5 μ m.
Sorgente luminosa: lampada sferica a mercurio 350W.
Potenza della lampada del mercurio: 1000W (DC, lampada del mercurio ad alta pressione importata di CC dalla Germania di Osram).