breve introduzione

Sistema di catodiluminescenza(La catodoluminescenza (CL) è solitamente configurata nella microscopia elettronica di scansione o nella microscopia elettronica di trasmissione, che può raggiungere la combinazione dell'osservazione morfologica, dell'analisi della struttura e della composizione con la spettroscopia di catodoluminescenza e realizzare l'imaging di scansione di fluorescenza a spettro completo. Il punto del fascio di elettroni utilizzato per l'eccitazione della catodiluminescenza è molto piccolo e ha alta energia; Rispetto alla catodoluminescenza di fotoluminescenza (PL), ha le caratteristiche di alta risoluzione spaziale, alta energia di eccitazione, ampia gamma spettrale e grande profondità di eccitazione e può raggiungere l'imaging di scansione di fluorescenza a spettro completo. La combinazione del sistema di catodoluminescenza e del microscopio elettronico a scansione può raggiungere l'osservazione morfologica, l'analisi della struttura e della composizione dei materiali e dispositivi semiconduttori, dei materiali fluorescenti (materiali geologici, archeologici), ecc. su piccola scala e la combinazione della spettroscopia catodoluminescenza è stata ampiamente applicata nei campi dei semiconduttori, della microelettronica, dei materiali, della fisica, della geologia, dell'archeologia, ecc. Soprattutto nel campo della ricerca delle proprietà di luminescenza e della struttura elettronica delle sostanze fluorescenti quali i punti quantistici semiconduttori e i fili quantistici alle scale del micrometro e del nanometro, la tecnologia catodoluminescenza ha un valore applicativo importante.