principale
Strumento e misuratore
FlexSEM1000
EDS a plug piatto di Brooke – XFlash FlatQUAD, alta efficienza e sensibilità per la rilevazione a raggi X
Impianto di macinatura a ioni Hitachi IM4000
il S-5500
Macchina per la rivestimento Coater Ion sputter MSP-15
il S-4800-II
Coater Ion suptter VE-2012 (Dispositivo a vuoto)
Macchina per la rivestimento Coater Ion sputter MSP-30T
Profilometro di interferenza ottica 3D NanoX-2000
della S-4700-II
Operazione riuscita!